Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии
(импульсное лазерное осаждение)

Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии (импульсное лазерное осаждение)
Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии
(импульсное лазерное осаждение)
Заказчик
"Национальный Исследовательский Университет "Московский Институт Электронной Техники", г. Зеленоград, Россия, 2017 год.
Изготовитель оборудования
Японская компания Pascal Co.Ltd. - специализированный производитель, предлагающий передовое научно-исследовательское оборудования. Основное внимание сосредоточено на разработке современных комплексов вакуумного технологического оборудования для эпитаксиального выращивания полупроводниковых гетероструктур методом импульсного лазерного осаждения (PLD).
Описание проекта
Задача состояла в поставке оборудования, позволяющего проводить процессы контролируемого атомарного роста многокомпонентных оксидных соединений. Для конечного пользователя было важно насколько тонкий слой металла/оксида можно нанести на подложку. Немаловажным был и тот момент, чтобы была реализована возможность производить напыление последовательно из нескольких мишеней, непрерывно или пошагово поворачивая их во время процесса напыления. Смешать несколько компонентов в одну мишень и ее напылять не представлялось возможным. Слишком разные свойства у материалов. Учитывая эти и множество других факторов, производителем оборудования была предложена оригинальная конструкция установки, позволяющая проводить технологически сложные напыления, оперативно меняя мишени и условия их распыления с помощью специально созданного под данный проект программного обеспечения.




Оригинальный держатель для мишеней и подложек, предварительная камера.




Возможность реализации 2 типов смены мишеней: Возвратный - Type-R ; револьверный - Type-C
В целях финансовой экономии, удобства обслуживания и бесперебойного снабжения премикс смесями, было принято решение использовать в установке эксимерный лазер российского производства. Слаженная координация работы всех заинтересованных сторон позволила не только поставить весь комплекс оборудования в срок, но также ввести в строй установку в присутствии японского производителя, российского производителя лазеров и конечного пользователя. Что, в свою очередь, позволило сразу снять все возможные вопросы.



Пример процесса напыления
Роль нас как поставщика
Перед нами стояла задача, исходя из технического задания, области деятельности заказчика и т.д., найти такого японского производителя, кто смог бы удовлетворить всем требованиям конечного пользователя и поставить необходимое оборудование в оговоренный срок.

Экспорт данного типа оборудования регулируется законодательством Японии. При этом требуется получение разрешения на экспорт от соответствующих правительственных органов Японии. Что и было сделано благодаря опыту и профессионализму команды Japan Machinery Company.

На всех этапах данного проекта команда Japan Machinery Company проводила слаженную координацию действий - от обсуждения технических вопросов, до обеспечения перевода и консультаций при запуске системы.

Особенностью данного проекта стала 2-х ступенчатая система технологического тренинга персонала Заказчика, который входил в базовое коммерческое предложение. Первоначально на место выехали технические специалисты, кто отвечал за сборку всей системы, ее запуск и обучение работе с установкой. Вторым этапом был выезд Японского специалиста для проведения 3-х дневного тренинга спустя 2 месяца после запуска установки. Запас времени позволил конечному пользователю глубже ознакомиться с принципами работы оборудования, подготовить список вопросов и тем для обсуждения к моменту приезда специалиста.
Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии
Итоги проекта
Результатом успешного завершения проекта является эффективная эксплуатация оборудования. Что было обеспечено за счет слаженной работы все участвующих сторон, а также благодаря обучению работе на установке в течении двойного, разнесенного во времени, технологического тренинга. 

После поставки оборудования продолжается, предусмотренная 2-годичной гарантией, его техническая поддержка.
Наши контакты
Московское Представительство
125212, г. Москва, Ленинградское ш., д. 29
Бизнес Центр “На Ленинградке”, офис 3
Головной офис

JMC Bldg., 4th Floor
2-19-6 Higashirokugo Ota-Ku, Tokyo, 144-0046,
Japan